台阶高度测试 - 结构及材料表征分析 - 苏州硅时代_微纳加工|MEMS加工|MEMS代工|器件封装|MEMS一站式解决专家

台阶高度测试

工作原理：
探针根据设定的扫描长度、速度和接触力在样品表面移动，随着样品表面的变化，链接在探针上的线性差动变压器接收处理变化的电信号。将变化的电信号转换成数字信号后，就能重现样品表面的起伏变化。
用途
–可以测量薄(厚)膜台阶高度(纳米、微米级别)；
–可以测量样品表面形貌和起伏度，也可以测量纳米级样品表面粗糙度；
–可以测量并分析样品的三维形貌；

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