公司新闻 - 苏州硅时代_微纳加工|MEMS加工|MEMS代工|器件封装|MEMS一站式解决专家

MEMS技术的加工工艺
2023-09-06

（一）硅表面微机械加工技术美国加州大学Berkeley分校的Sensor and Actuator小组首先完成了三层多晶硅表面微机械加工工艺，确立了硅表面微加工工艺...
显影技术
2023-09-04

显影是在硅片表面光刻胶中产生图形的关键步骤。光刻胶上的可溶解区域被化学显影剂溶解，将可见的岛或者窗口图形留在硅片表面。最常见的显影方法是旋转...
EUV技术对掩膜版和光刻胶的要求
2023-09-01

EUV与现有光刻技术的主要区别，在于极紫外投影光刻系统使用了反射式掩模。反射式掩模采用坚固的背支撑结构．可以有效地防止由装校应力以及热应力产...
精准医疗的MEMS——微流控技术
2023-08-30

临床医学全面走向个性化医疗诊疗是当今医学发展的一大方向，精准的体外诊断技术是正确诊疗的基本保证。而体外诊断基本主要是基于体液（血液，尿液，唾...
套刻误差（Overlay）
2023-08-30

光刻机的工作过程是这样的：逐一曝光完硅片上所有的场（field），亦即分步，然后更换硅片，直至曝光完所有的硅片；当对硅片进行工艺处理结束后，更换掩...
激光直写的应用领域
2023-08-29

激光直写光刻(laser direct write lithography，LDWL)作为一种无掩模光刻技术，是利用强度可变的激光束对基片表面的抗蚀材料实施变剂量曝光，显影...